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大面积高可靠性铁电薄膜的MOCVD和PLD制备及铁电累加计数器研制

2001年

应用技术

成果简介

铁电薄膜可广泛应用于不挥发存储器，红外探测器，微机械等领域，该所在国内建立了领先的大面积MOCVD装置，制备了大面积PET，Bi4Ti3O12，LBTO，SBT，BTO(22)，GO2MGOMGTcO_3等多种铁电薄膜，技术指标的国际先进水平相当，解决了铁电／半导体集成工艺技术，研制出国内领先的FEFET和4×8位铁电存贮器，建立了自主的知识产权，为进一步产业化打下良好的基础。...

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