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微机械光开关

2001年

应用技术

成果简介

该项目对光学MEMS进行了有益的探索，对微机械光开关的工作原理、设计和制作技术作了深入研究与分析，解决了多种关键技术，对光学MEMS在中国的发展提供了技术支持。采用了三种方案研制了光开关样品，其中MEMS扭镜光开关结构新颖，做到了小于20V的驱动电压，可用作1×N光开关，而且易于N×N阵列集成，为研究大阵列MEMS光开关积累了经验，该研究成果居国内领先水平，技术方法有新颖性。...

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