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金属有机化合物

1999年 应用技术
  • 成果简介
化合物半导体材料是制备新型光电功能器件的高技术新材料，如激光器、探测器、太阳能电池、超级计算机等。而各种性能的化合物半导体材料是通过MOVPE等外延工艺制备而来的。高纯金属有机化合物(MO源)是关键的金属源材料和掺杂剂。此外，金属有机化合物还用于催化剂、塑料稳定剂，农药和医药等行业。用于化合物半导体材料外延生长要求的各种MO源的纯度为5N-5.8N，产品经国内外十几家科研单位使用，生长出高质量的外...
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