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二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  本发明公开了一种二氧化硅气凝胶薄膜材料的制备方法,该方法是通过采用酸/碱两步催化的溶胶-凝胶工艺结合胶粒的有机硅烷化过程,并通过化学添加剂而实现的。
  本发明方法的最大优点是:配制的前驱体溶液性能稳定,可以存放9个月以上;制备的气凝胶薄膜成本低,有利于商业应用;制备的气凝胶薄膜孔洞率高,可用于集成器件的低介电常数绝缘层以及高效隔热层。  ...
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