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测量光学薄膜等效折射率及物理厚度的设备和方法

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明书提供了一种通过测量多个角度反射谱来同时获得薄膜等效折射率和厚度的设备和方法。该设备简单，测量方便。该方法是根据入射光在空气–薄膜–衬底的界面处两次反射会发生干涉，其干涉现象会从反射谱上表现出来。因此只要测得两个不同入射角q1和q2含有干涉信息的反射谱R（q1，w）和R（q2，w），采用薄膜反射率公式同时拟合这两个反射谱，得到相应的光程差D1和D2，根据折射定律，联立两个方程就可以得出薄...
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