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大行程微进给定位技术

2003年 应用技术
  • 成果简介
项目简介：近些年来，随着精密机械制造、超大规模集成电路制造、高精密度测试技术以及微型机电系统等的快速发展，国内外都对微进给定位技术提出了愈来愈高的要求。由此，利用压电元件等的固体致动器的微进给定位技术的研究开发与应用引人注目。从实现定位的技术原理的角度看，有一种直接利用压电器件变形的弹性位移放大机械可以进行位置确定，而且这种定位具有较高的位移分辨率，但是其明显的不足是位移行程范围极小，至多位移数个...
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