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4S/4.3S高精度平面研磨机

2002年 应用技术
  • 成果简介
该研磨机主要用于石英晶体研磨以及铅石、玻璃等高硬材料的双面研磨。该研磨机为四轴传动，四根传动轴，分别带动上研盘、下研盘、太阳轮和外齿圈。由太阳轮、外齿圈和游星轮组成行星结构，带动装在游星轮孔中的石英晶体作行星运动，从而使得石英晶体片在上、下研盘的作用下实现双面均匀研磨，从而获得整盘晶片良好的平行度及很小的厚度差。4s型研磨机最薄研磨厚度为40μm，整盘晶片的厚度差为0.6μm；4.3s机型的最薄研...
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