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一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：
该装置由波导一同轴转换：
1、同轴腔；
2、带重入柱的TM010谐振腔；
3、连接构成；
同轴腔的内导体，深入到TM010谐振腔中，并通过高压引入结构引入等离子体激发电压。本发明可以使等离子得到有效控制，从而可以实现等离子体化学合成...
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