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CNX薄膜材料的磁控溅射生长、表征及应用

2002年 应用技术
  • 成果简介
CN薄膜材料是一种新型的超硬材料，具有许多优良力学性能，如高弹性、高硬度、摩擦系数小、耐磨损、防腐蚀、化学稳定性好等优点。其主要原材料为石墨和氮气，可用于制作切削工具、钻头、固体润滑剂、做为涂层涂于手齿轮、轴承等传动部件上，作为保护层可涂于计算机硬盘上。该项研究提出了磁控溅射CN薄膜生长的微观机理；发现了具有类乱层石墨结构和类足球烯结构的CN薄膜；制备出弹性好、硬度高的CN薄膜材料；发现了CN薄膜...
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