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紫外吸收材料表面制作光栅的方法和制品

2003年 应用技术
  • 成果简介
在紫外吸收材料表面制作光栅的方法和制品，与传统的光刻和电子束刻蚀不同，该发明是通过对准分子激光脉冲的光束调制，直接在材料表面刻蚀出周期结构，即光栅，用光学和原子力显微镜检测光学表面，可见该种光栅不仅具有良好的周期性，而且刻槽为光滑的波纹状，由于该发明仅使用单个准分子激光脉冲，其作用时间为几十纳秒，所以对环境要求不高，加上实验装置简单可靠，制作过程快捷，有利于工业化制作光栅滤波器，光栅耦合器，光栅透...
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