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纳米级微驱动机器人系统

2000年 应用技术
  • 成果简介
该成果完成了机构、驱动、检测一体化的微驱动机器人四套，达到运动范围10μm、50μm、100μm、200μm；运动精度5nm、25nm、50nm、100nm；运动分辨率0.5nm、2.5nm、5nm、10nm。采用线切割方法一体加工成型微位移传递机构，具有无摩擦、无间隙的特点，建立了微动机器人各种运动副和位移放大机构的通用数学模型；针对微动机器人各个关节运动范围微小、运动分辨率高的特点，采用微坐标...
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