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调制传递函数工件台

1999年 应用技术
  • 成果简介
该成果为亚微米级三维运动二维测量高精度工件台系统，主要单元技术，双频激光干涉仪测量技术，精密定位与控制技术，微位移驱动技术，精密定位工件台设计与制做等综合技术。主要用于对面阵或线阵CCD器件调制传递数进行检测，同时也可应用在精密测量，高精度计量等多方面。其特点步距分辨率极高(位移分辨率0.Olμm)，X方向，Z方向位置重复测量精度均为±0.03μm，检测面为竖直形式，全部工作过程由计算机控制实现自...
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