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12英寸硅单晶抛光片项目

2002年 应用技术
  • 成果简介
世界半导体工业将逐步由8英寸向12英寸硅片转移。现在，全世界12英寸硅片尚处在小批量生产和供应阶段，估计需求量在未来几年将迅速增长。有研半导体材料股份有限公司于1997年研制出中国第一根12英寸硅单晶，并在硅抛光片制备方面有较好的技术基础。该公司计划通过技术改造，建设一条12英寸硅单晶及抛光片的生产线。...
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