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多功能UHV-STM-LEED-AES联合系统(普通型)

1996年

应用技术

成果简介

内容简介：多功能UHV-STM-LEED-AES联合系统适合于科研(表面物理、化学、生物等领域)、纳米材料、纳米加工、形貌、原子水平的科研工作。该型号系统性能与进口设备完全相同(有部分指标超过进口)，价格仅为进口设备的1/10-1/50。每台售价8-10万元。STM主体性能：分辨本领：横向优于0.14nm，纵向优于0.01nm；压电陶瓷扫描架：居里温度：～300℃；范围：Z方向0.8μm，X、Y方...

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