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金刚石膜热沉表面金属化工艺研究及应用

2001年 应用技术
  • 成果简介
该课题采用电子束蒸镀、富氧处理和低温固膜工艺，实现了金刚石膜和金属层之间的化学结合；提出了新的金属化体系Ti/Ni/Au，抗拉强度为38.4-44.6MPa，在-78.5℃-+150℃耐冷热冲击循环100次后，金属化薄膜未脱落，并且结合强度基本保持不变；金刚石膜金属化热沉经过实际使用，热阻仅为氮化铝热沉的40.7%。该成果达国内领先水平。...
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