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MBE GaAs基半导体微结构材料实用化研究

2002年

应用技术

成果简介

主要应用于新型微波、毫米波器件及电路的制作，是移动通讯，全球卫星定位系统，新一代手机核心电路，相控阵雷在等超高速、超高频现代通讯领域的基础。其基本原理是利用化合物半导体的优良性能，并采用分子束外延(MBE)技术，根据器件或电路的要求，外延生长各种多层微结构材料，使其具有高迁移率，高载流子浓度等特点，从而用以制作各种超高频、大功率、低噪声器件和电路。性能指标：厚度不均匀性：≤±1.5%；组分不均...

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