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高效多晶硅薄膜太阳电池的研究与开发

2001年

应用技术

成果简介

通过该专题的研究和开发，在非硅衬底上制备的多晶硅薄膜太阳电池的效率达到10.74%，在重掺的非活性的单晶硅衬底上制备的薄膜太阳电池的效率达到15.12%，在冶金级颗粒硅带衬底上直接制作的多晶硅薄膜太阳电池的转换效率达到了4.5%，这三项指标接近了世界先进水平。该专题组通过与中国科学院半导体研究所合作，采用PEVD方法制备a-Si/μc-Si多晶硅薄膜太阳电池，转换效率达到8.91%，采用PECVD...

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