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叠氮系负型感光剂的合成

1997年 应用技术
  • 成果简介
产品性能及用途、技术水平：该技术主要用于胶印阴图PS版感光剂和大规模集成电路负型光致抗蚀剂。具有高感度、高分辨率、稀碱水显影等特点。其水平在相关领域处于国际领先水平。曾申请两项国家发明专利(1.CN1,030,770;申请号91103376.9)。作为感光剂，用稀碱水显影，具有突出的环保优势。...
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