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大直径晶体生长用环形永磁磁体开发

2002年 应用技术
  • 成果简介
为大直径硅单晶制备(≥Φ8英寸)用大型环形永磁磁体，目的在晶 体生长过程中向熔体引入磁场，以抑制熔体强烈对流。除保证晶体正常生长外，还能改善大直径硅单晶均匀性和控制硅片氧含量。永磁磁体和常规电磁磁体比，其结构简单，无水、电消耗，无噪声干扰，有利于环境与生态保护。2000年已通过国家基金委、河北省基金委鉴定；技术水平国际领先。该技术国内外尚无报导。技术指标：内径：1300mm；高度：1000-120...
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