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低温高性能BICMOS电路研究

2001年

应用技术

成果简介

低温BiCMOS电路是实现高速大驱动能力电路重要途径之一。技术原理及工艺流程：技术特点：选用了结构、工艺与CMOS器件完全相同的混合模式晶体管作为BiCMOS的双极器件，很好地克服了工艺不兼容的问题，简化了工艺，降低了成本；利用混合模式晶体管h_(EF)的负温度系数特性，在低温获得超启h_(FE)值，提高了其低温下的驱动能力；利用含有混合模式晶体管的三管反相管单元，为研制低温BiCMOS各种应用电...

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