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单模光纤探针式轮廓仪

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项研究受国家自然科学基金支持，已完成了单模光纤探针式轮廓仪的基本理论，仪器构成的基本原理，并完成了单模光纤探针式轮廓仪原始样机一台，并实现了智能化，测试自动化。该仪器主要用于表面粗糙度的非接触测量，特别是分辨率较高的粗糙度测量。不仅可以测量金属表面粗糙度，而且可以测量有色金属(金、镀铜、铝、铬等)和光电子技术中应用的薄膜光学材料、半导体材料、高科技陶瓷材料等的表面粗糙度，用途广泛。技术原理及工艺...
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