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MC-75A大功率脉冲电源

1999年

应用技术

成果简介

该项目由两组三相可控硅整流串接后获得0-1000V连续可调直流电源，以IGBT作为主功率开关器件，通过一对串接的TGBT对直流电源进行斩波获得矩形方波输出的大功率开关电源，并与真空炉体一起组成一套机电一体化的设备，主要用于等离子体渗氮，亦可作多弧离子镀膜设备、磁控溅射设备等的偏压电源。该电源灭弧速度快，工件变形小，具有多种显示功能及完善的保扩措施，使用方便，运行安全可靠。...

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