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ACRT-B晶体生长设备

2001年

应用技术

成果简介

该设备能满足Ⅱ-Ⅵ族电子材料单晶生长技术的研究与生产的需要，是一台高性能、智能控制的具有ACRT(坩埚加速旋转)系统是Bridgman晶体生长设备。主要技术特点是：在总体设计方案中采用炉体运动的方式控制生长速度，优于国外设备采用的坩埚运劝方式，避免了机械系统干扰的叠加，使运动更加平稳；在坩埚旋转及炉体运动中采用直流伺服电机和脉宽调速系统，因而运动速度稳定性高，可抗电源干扰；采取特殊措施使ACRT过...

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