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声表面波数字压力计

2001年 应用技术
  • 成果简介
声表面波数字压务计是采用具有频率输出的声表面液压力传感器制成的，该类传感器与传统的传感器相比较具有以下优点：声表面波传感器线民生范围宽，频率输出，应用时不需要A/D变换。该类传感器采用集成电路工艺制作，生产成本低，易于功能集成。该类 传感器制作在石英衬底上，能高温工作，温度稳定性好，耐腐蚀。所制成的一类声表面波数字压力计的技术指标为：量程：0-50Kpa;0-100Kpa;采用速率：2次/秒或8次...
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