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超高速集成电路用5N高线硼制备工艺

2001年

应用技术

成果简介

高纯硼是重掺硼硅单晶的关键材料。该工艺以粗硼(工业纯90%)为原料，经溴化硼合成和精馏，一氢化还原制备出99.999%的高纯硼。该工艺提纯效果好，纯化倍数高，杂质降低了4-5个数量级以上。工艺简单、稳定性好，与氯化硼工艺对比成本较低，操作简便，设备腐蚀少，对环境无污染，工艺方法有所创新，达到国际先进水平。该流程制得产品纯度高，除硅以外的杂质FE、PB、CU、NI、ZN和SN均小于1UG/G，产品粒...

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