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氮化铝粉末及高导热氮化铝陶瓷基片制造技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
研制的氮化铝粉末，具有纯度高、粒径小、活性大的特点，产品质量达到或接近国外优质氮化铝粉末的性能，是制造高导热氮化铝陶瓷基片的主要原料，研制的氮化铝陶瓷基片具有膨胀系数小，强度高、耐高温、耐化学腐蚀、电阻率高、介电损耗小的特点，是理想的大规模集成电路散热基板和密封装材料。氮化铝粉末的N含量>33%，O含量<1%。晶粒尺寸为2UM。氮化铝陶瓷基片的相对密度为99%。热导率为140-160WM^(-1)...
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