首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪

2001年 应用技术
  • 成果简介
在微电子、光电子科研与生产过程中，薄膜应力一直是人们关注的问题，因为薄膜中残余应力的存在，是造成次品的主要原因之一，严重的还能在工艺过程中造成基片破坏、薄膜龟裂等，因此薄膜应力分布测试受到越来越多的重视，尤其是工艺研究与新工艺生产中。BGS6341型电子薄膜应力分布测试仪是为解决微电子、光电子科研与生产中薄膜应力分布的测试而设计的，它采用先进的错位相移技术，通过测量电子基片由于受薄膜应力所引起的变...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统