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准分子激光电化学复合微加工方法与装置

2005年 应用技术
  • 成果简介
针对如何利用现有准分子激光加工机制造深宽比高、特征尺寸小、机械性能好的微结构这一难题，围绕激光、电化学与加工材料之间的耦合作用，将准分子激光微加工工艺、电化学微加工工艺融合在一起，在硅样品上加工出最大孔径小于50mm、平均孔径为28mm，深度为530mm的锥形通孔。对准分子激光电化学微加工工艺中若干问题进行了系统的研究，取得了如下重要的加工特性：1)对准分子激光电化学刻蚀金属的特性研究表明...
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