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有机电致发光玻板的清洗方法和装置

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种有机电致发光玻板的清洗方法和装置，首先将被清洗的玻板置于真空腔内，通入高纯氧气流，用离子束以一定角度轰击玻板。本发明的清洗装置为一真空腔，被清洗玻片置于真空腔内上部的支架上，真空腔下部的一侧为离子源，离子源与样品之间设有挡板。本方法和装置用于清洗的离子束以一定角度入射，降低了被清洗玻片的表面粗糙度和表面污染物的含量，不会对玻片产生腐蚀，且制备成本低。...
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