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用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法，首先在第一玻璃片上打孔，然后在第二玻璃片上镀Cr膜，涂光刻胶，用刻有微管道图形的模板作为掩膜版，对光刻胶曝光并显影，露出该处的Cr膜层，再刻蚀，形成微管道图形，最后用腐蚀液在第二玻璃片上刻蚀出微管道网络，使上、下玻璃片的通孔、端部相对准，在高温度下使两片玻璃键合。本发明的方法，制造成本低，易于大批量生产，工艺流程的简单，提高了制造成品率...
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