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压电型精密驱动器

2004年 应用技术
  • 成果简介
压电精密驱动器为国家“863”高科技计划资助项目产品，其驱动性能已经达到或超过国外同类产品水平，该产品可广泛应用于精密定位，超精密加工领域、微机器人操作领域，光纤精密对接、精密光学调整及生物医学等领域，随着现代科学技术和工业技术的发展，特别是微/纳米技术发展，在硅微电子加工领域、在微机器人操作领域，在超精密切削领域、在光纤、光学调整及生物医学等领域，人们越来越要求具有超精密驱动的高科技技术...
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