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快速扩散系统及工艺

2005年

应用技术

成果简介

快速扩散技术的高效、节能使之成为近年晶体硅太阳电池制造新技术中的重点研究方向之一。快速扩散由于具有场助扩散及光助扩散等的机理，能在较短的时间达到常规扩散的效果，使工艺更为高效、节能，由于高温过程的时间的缩短，还减少了晶体结构损伤或污染。国外生产此设备的有许多厂家，如WeferMasters，Inc，Vortek Industries Ltd，Tokyo Electron，APPLIED M...

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