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硅外延技术

2005年

应用技术

成果简介

一、项目简介
硅外延片是半导体集成电路产业的关键基础材料，建立在外延硅材料上的集成电路使得信息时代的国际互联网、电子商务、通讯、电脑、消费电子、工业自动化、控制分析系统及强大国防防御系统成为现实。硅外延处主要应用于半导体制造业，自八十年代初以来，为了获得高器件成品率，通常需要无表面缺陷、晶体质量优良的硅外延片。
二、应用领域
(1...

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