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高纯超净氨的纯化和规模化生产技术

2005年

应用技术

成果简介

高纯氨(NH_3)是金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)技术生产第三代半导体材料氮化镓(GaN)基材料的关键支撑材料。MOCVD技术制备氮化镓(GaN)；要求所使用的高纯氨必需高纯超净，其纯度水平为99.9999%(6N)以上。目前，国内所需的高纯氨严重依赖进口，制约氮化镓(GaN)产业的核心技术和核心材料技术的发展。科利德公司开发和生产的高纯超净氨(6.4N)产品，是采用选择性低温吸...

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