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MEMS系统级三维组件库建模通用方法与技术

2005年

应用技术

成果简介

成果涉及两方面：专门针对MEMS系统级设计的通用建模方法与技术，和用于MEMS计算机辅助设计的三微组件库。
成果可用于国防和民用领域的MEMS器件开发过程：
1、多端口组件网络方法为MEMS系统级建模提供了总体解决方案；三维组件建模通用方法与技术为建立微结构多端口组件模型提供了规范、标准。上述对MEMS建模的总体规划和具体过程有普遍指导意义，尤其对设...

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