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MEMS微组装制造平台

2005年

应用技术

成果简介

针对MEMS器件的组装（微装配、封装、微连接等）作业，开展了宏微精密定位、作业工具、显微视觉系统等关键技术研究和应用，并将若干单元技术集成，选择具有应用前景的耐高温压力传感器为示范微装配对象，研制出微机电系统装配设备，实现典型微机电系统器件的小批量和自动化装配，其相关技术在其他MEMS研究中得到扩展应用，是MEMS批量生产的关键设备之一。...

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