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MEMS部件设计仿真库系统

2005年

应用技术

成果简介

软件是用于制造业、微电子行业MEMS研究开发的辅助设计CAD软件系统。软件主要针对MEMS中静电驱动器的典型结构进行数值模拟，提供了三层极板结构静电驱动器、两层结构1/4圆形下电极静电驱动器以及两层结构方形下电极静电驱动器的结构尺寸辅助设计，同时与虚拟显示环境相结合，实现虚拟设计和模拟的功能。
本成果提供一个MEMS部件设计仿真库系统，已经申请软件著作权，并给出了若干种...

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