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12英寸硅单晶抛光片

2005年

应用技术

成果简介

直径12英寸硅片主要应用于线宽在0.13微米以下的集成电路（IC）。该课题开发出从单晶生长到晶片加工和检测的具有自主知识产权的成套技术，产品技术指标达到了国际先进水平，样片的质量已满足客户需求。
2005年底将建成我国首条直径12英寸硅单晶抛光片生产线，月产达到10000片能力，促进我国12英寸集成电路制造业的发展，为国内超大规模集成电路配套材料产业链的形成做出重要贡献...

相关成果

1. 12英寸硅单晶抛光片项目

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