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六英寸晶圆片半自动探针测试台

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、简要技术说明及主要技术性能指标
　　六英寸晶圆片半自动探针测试台是集精密机械、现代光学、计算机控制、图像识别技术、自动控制技术等高科技技术于一体的光机电一体化设备；是集成电路测试，分离器件测试和LED测试的专用设备，可完成1～6英寸集成电路和分立器件的自动检测，并可广泛用于半导体集成电路，化合物半导体器件，声表面器件的圆片级测试。它用于半导体器件前后道工序之间电参数特性测试的关键设...
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