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HgCdTe的材料芯片方法研究

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本项目主要针对红外焦平面器件工艺要求进行的创新性基础研究，其中最突出的方面是采用了材料芯片技术实现了对工艺条件的统计性研究，为焦平面工艺提供了最优离子注入剂量的数据库。
　　根据项目任务书提出的目标和所设定的研究重点，具体完成了以下几个方面的研究工作：
　　（1）针对HgCdTe材料在光伏型焦平面探测器应用中用于形成核心结构p-n结的离子注入工艺，实现了根据设定的剂量分...
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