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压电微传感器的振动及机电耦合的研究

2006年

基础理论

成果简介

近几年来，微机电系统（MEMS）在许多领域成为科学研究的热点，并且取得了显著的进步。许多MEMS技术是从集成电路技术移植过来的，保证了二者的一致性和工艺上的兼容性。在机械、汽车、医疗、自动控制、通信和国防等领域，微机电系统有着广泛的前景，如加速度计、压力传感器、应变仪、流量计、温度传感器、化学传感器和生物传感器等等。
压电微传感器是一种以压电材料为换能器的微传感器，它因...

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