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一种用于半导体材料特性表征的方法及其系统

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本专利开发了一种方便的半导体材料特性表征普适方法及其相关测试系统，利用半导体材料在不同波长激光照射下的表现特征对其内在特性进行表征并提取关键参数。...
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