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全息型光子晶体仪

2006年 应用技术
  • 成果简介
一、项目特点和技术指标
特点:
1.可实现大面积光子晶体;
2.二维光子晶体的晶粒结构可控制为六边形,利于ICP刻蚀;
3.操作简单,设计灵活,成本低,能适用于大批量生产;结合ICP刻蚀工艺,对于提高LED的外量子效率潜力很大。
二、技术成熟程度
用该系统在材料上已实现了...
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