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低成本硅基薄膜太阳能电池及产业化应用

2006年 应用技术
  • 成果简介
本项目采用甚高频PECVD方法,以常用建筑材料为衬底制备硅基薄膜;通过揭示硅基薄膜的生长机理,优化硅基薄膜沉积工艺,实现器件质量级硅基薄膜的低温、高速率沉积;采用PIN结构,进行单结非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池实验,通过PIN各层薄膜厚度、P与N层掺杂浓度、前电极TCO磁控溅射、背电极蒸发等多种因素的匹配优化与前电极TCO/P、P/I、I/N等界面工程,获得提高非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池...
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