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含有有机半导体的夹心型场效应晶体管及制作方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种含有有机半导体的夹心型场效应晶体管,包括衬底,在衬底上形成栅电极,栅绝缘层形成在衬底和栅电极上,其特征在于有源层形成在栅绝缘层上,并露出部分绝缘层,源/漏电极形成在部分有源层和部分栅绝缘层上,有源层形成在露出的栅绝缘层、有源层、源电极和漏电极栅上。
本发明充分发挥有机半导体低温加工的优点,采用两种或两种以上材料共同构成有源半导体层,增强有源层与源和漏电极有效接触,降...
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