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碳化硅中杂质元素的ICP－AES分析

1998年

应用技术

成果简介

该成果通过对不同碳化硅样品溶样技术的系统研究及ICP-AES分析参数的优化选择，建立了快速准确同时测定碳化硅中杂质元素的ICP-AES方法。该方法灵敏度高，检出限低、精密度高、准确度良好，而且操作简便可操作性强，适用于各种品位碳化硅样品的分析。该法对于提高碳化硅的质量档次，提高商检的检测水平具有重要意义。...

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