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远程双频直线度同轴度测量干涉仪

1998年 应用技术
  • 成果简介
准直测量方法及准直测量干涉仪属于计量学领域，用于解决机械制造和安装中的准直测量问题。例如：汽轮机、水轮机、发电机的同轴度，不连续镜板的平面度，超长导轨的直线度等。这些测量要求激光准直仪应具有以下特征：1）能连续测量也能间断测量，间断测量是指测量过程需要传感器离开光路后又再回到光路中（光路被挡住后又恢复）应不影响测量结果，这是同轴度和有孔镜板平面度测量必须的。2）对激光束的平漂和角漂不敏感。...
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