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P/P+型硅外延片杂质浓度测量方法和仪器

1998年 应用技术
  • 成果简介
本成果解决了现有技术存在的势垒模型欧姆接触和串联电阻问题，成为最新一代测试系统。它具有测量范围宽、误差小、使用简便快速和不损伤试样等特点。适用于硅外延片生产过程的在线测试，特别是检测大尺寸（＞Φ3″）试样，优越性更加明显。据检索国内外文献均未见类似报道，认定是一项创新技术。
项目创新：创新点两极汞探针与场感应势垒。用途电子材料硅外延片生产在线测试。...
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