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固体薄膜与固体润滑

1997年 应用技术
  • 成果简介
在不同衬底材料上用物理气相沉积法（PCVD）沉积类金刚石碳膜，提高材料的耐磨性、耐蚀性，并具有良好的固体润滑特性。该成果除在光、电学领域中有广阔的应用前景外，并可在磨擦、磨擦及耐蚀等特性方面作为坚硬，耐蚀膜及固体润滑膜获得应用。...
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