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激光等离子体动力学及其在材料科学中的应用

1997年 应用技术
  • 成果简介
本项目用激光等离子体技术，实现大面积均匀多晶硅膜的低温淀积，合成了高强度的纳米SiC陶瓷材料，研究了SiH_4、SiH_4+CH_4在红外激光作用下的激发、分解、击穿及反应动力学的宏观与微观过程，获得了低能电子SiH_4散射等数据与成果，国际先进。...
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